Какво е почистване на вафли? Тел:+086-592-5803997
Почистването на вафли е решаващ полупроводников процес, премахващ частици, органични и метални замърсители от силициеви вафли с помощта на мокри химически вани (като RCA Clean,Piranha ецване с H₂SO₄/H₂O₂), разтворители (ацетон, метанол), флуороводородна киселина (HF) и механично почистване или мегазонични методи, последвани от изплаквания с ултра-чиста вода и изсушаване с азот, за да се осигурят повърхности без{1}}дефекти за производство на микрочипове, като процесите се развиват от партидно потапяне до единична-вафла пръскане за прецизност.
Хидрофлуороетер HFE347, съчетаващ нулев ODP, нисък GWP, не-запалимост и нулеви остатъци, бързо се превърна в новия фаворит на фабричните инженери и сега се счита за мощно допълнение и надстройка на конвенционалните методи.
процес на почистване на вафли Тел:+086-592-5803997
| Стъпка за почистване на вафли | Цел |
|---|---|
| Пред-дифузионно почистване | Създава повърхност без метални, прахови и органични замърсители. В някои случаи естественият оксид или химическите оксиди трябва да бъдат отстранени. |
| Почистване за отстраняване на метални йони | Елиминирайте металните йони, които могат да имат вредно въздействие върху работата на устройството. |
| Почистване на частиците | Отстранете частиците от повърхността, като използвате химическо или механично почистване с Megasonic cleaning. |
| Post Etch Clean | Отстранете фоторезиста и полимерите, останали след процеса на ецване. Отстранете фоторезиста и твърдите остатъци, включително "ецващ полимер". |
| Премахване на филм Почистване | Офорт/лента със силициев нитрид, ецване/лента с оксид, ецване/лента със силикон и ецване/лента на метал |
Границите на конвенционалното почистване и стратегическата роля на HFE Тел:+086-592-5803997
Класическият процес на почистване на пластини RCA разчита на високо-температури, висока-чистота на водни химически разтвори (напр. SC-1, SC-2). Въпреки че е отличен в премахването на йони, метални замърсители и частици, процесът има две присъщи ограничения:
Ограничена ефикасност срещу специфични органични замърсители като остатъци от фоторезисти, масла за вакуумни помпи, силиконови греси и модерни смазки от прецизни компоненти.
Предизвикателството при сушене с „вода“: Високото повърхностно напрежение на водата представлява критичен риск по време на крайната фаза на сушене, което често води до разпадане на модела и остатъци от воден знак, особено върху структури с високо-пропорция-съотношение.
HFE 347, като усъвършенстван хидрофлуороетерен разтворител, адресира тези болезнени точки директно чрез своите уникални физикохимични свойства, като се позиционира като идеалната среда за „прецизно сухо-в-мокро почистване.“
Основна информация за почистване на вафли Хидрофлуороетер HFE347
Тел:+086-592-5803997
HFE (хидрофлуороетер) е клас органични съединения, съставени от водород, флуор, въглерод и кислород, съчетаващи етерни връзки (R-O-R') и флуороалкилови структури. Той е проектиран да запази отличното представяне на флуорираните разтворители, като същевременно намалява въздействието върху околната среда (като изтъняване на озоновия слой и потенциал за глобално затопляне). HFE се използва широко като прецизен почистващ агент, охладител, носител на разтворител и т.н., особено в областта на електрониката, полупроводниците и космическата техника.
|
Химично име: |
1,1,2,2-тетрафлуороетил 2,2,2-трифлуороетил етер |
|
CAS: |
406-78-0 |
|
MF: |
C4H3F7O |
|
MW: |
200.05 |
|
EINECS: |
609-858-6 |
|
Химични свойства |
|
|
Точка на кипене |
56,2 градуса |
|
плътност |
1.487 |
|
индекс на пречупване |
1.276 |
|
Специфично тегло |
1.487 |
|
Референция на база данни на CAS |
406-78-0 (справка на база данни на CAS) |
|
EPA Система за регистър на веществата |
HFE-347pcf2 (406-78-0) |
|
Тестови елементи |
Спецификации |
|
Външен вид |
Бистра безцветна течност |
|
Чистота |
По-голямо или равно на 99,5% |
|
вода |
По-малко или равно на 100ppm |
почистване на полупроводникови пластини HFE 347 Factory Tour Тел:+086-592-5803997



доставчик на почистване на полупроводници - Фирмен профил Тел:+086-592-5803997

Xiamen Juda Chemical & Equipment Co., Ltd. е стратегическо предприятие, инвестирано от Juhua Group - лидер във флуорохимическата индустрия в Китай - за напредък в-сектора на електронните материали от висок клас.
Надграждайки силните страни на пълната промишлена верига на групата, обхващащи от основни флуорни суровини до усъвършенствани флуорополимери, и използвайки своята дългосрочна-технологична експертиза, Juda има за цел да преодолее международните бариери за доставки и да постигне самодостатъчност-в основни електронни материали. Компанията е специализирана в предоставянето на съществени решения с висока-производителност-базирани на флуор за производство на полупроводници, интегрални схеми и други сложни електронни приложения.
Популярни тагове: хидрофлуороетер hfe347 разтворител за почистване на вафли, доставчици, производители, фабрика, оферта, цена, купете
















