FFKM е високоефективен уплътнителен материал. Отличното му представяне позволи на приложението му да проникне в цялата система за производство на полупроводникови продукти. Сред тях уплътнителните пръстени FFKM са един от основните консумативи, необходими за производството на интегрални схеми.
структурата и работните характеристики на FFKM
FFKM се кополимеризира от тетрафлуоретилен (TFE), перфлуороалкил винилов етер (PAVE) като основни мономери и малко количество мономер с точка на втвърдяване (CSM). Както е показано на фигурата по-долу, всички въглеродни атоми в полимера Всички водородни атоми на каучука са заменени от флуорни атоми, което го прави каучук, който изобщо не съдържа СН връзки.
Основни характеристики на FFKM:
1) Физични свойства
Плътността на FFKM е 1.9-2.0g/cm³. Неговите механични свойства при нормална температура са близки до тези на базирания на винилиден флуорид (VDF) флуорокаучук (FKM), но механичните му свойства при висока температура са по-добри от тези на флуорокаучука.
2) Химическа устойчивост
В молекулярната верига на FFKM няма водородни атоми и CC връзките са основно заобиколени от обвивка, съставена от F атоми, което показва силна химическа инертност и прави полимера значително устойчив на химикали.
3) Устойчивост на високи и ниски температури
Работната температура на FFKM обикновено е 260~290 градуса и може да се използва периодично при високи температури от 316 градуса. Тъй като голям брой -OCF3 групи са въведени в разклонените вериги на молекулите, гъвкавостта на молекулите се подобрява и устойчивостта на ниска температура на каучука се подобрява.
4) Плазмена устойчивост
В плазмена среда той показва продуктови характеристики на висока чистота и ниски валежи и може да издържи на плазмено бомбардиране за дълго време.
Приложения на fFKM в полупроводници
В производството на полупроводници надеждността на еластомерните уплътнения е критична, тъй като спирането на производството за подмяна на уплътненията е изключително скъпо. За да се избегнат потенциални рискове, изискванията за чистота на пломбите са много строги. В същото време уплътненията трябва да могат да работят дълго време в среда под налягане на висока температура, висок вакуум и корозивни химически газове.
По отношение на полупроводниковите приложения, FFKM се фокусира главно върху:
1) Газово уплътнение: В процеса на производство на полупроводници обработката и транспортирането на различни газове са от съществено значение. FFKM O пръстенът се използва за уплътняване на газопроводи, клапани и съединения, за да се гарантира, че газът няма изтичане и поддържа стабилността на процеса.
2) Гравиране и почистване: Етапите на ецване и почистване в полупроводникови процеси често включват използването на корозивни среди като силни киселини или основи. FFKM О пръстенът се използва широко в части на оборудването в контакт с тези среди, като камери за ецване, резервоари за почистване и т.н. поради отличната им устойчивост на корозия.
3) Транспортиране на течности и химикали: При производството на полупроводници трябва да се транспортират различни течности и химикали, като разтвори, разтворители, почистващи течности и др. FFKM O пръстенът може да се използва за уплътняване на компоненти на оборудване като тръби, клапани и помпи, за да се гарантира безопасното доставяне на медиите.
4) Високотемпературна среда: Някои стъпки в полупроводниковия процес трябва да се извършат в среда с висока температура, като термична обработка, отгряване и т.н. FFKM О-пръстените имат отлична устойчивост на висока температура и могат да запазят своята еластичност и уплътнение свойства при високи температури.
5) Обработка на ултрачиста вода: В производството на полупроводници свръхчистата вода се използва за почистване и пречистване на оборудване и материали. О-пръстените FFKM се използват широко за уплътняване на оборудване за обработка на свръхчиста вода, за да се предотврати навлизането на примеси и замърсители.
Поради високата цена на суровините от каучук FFKM, работните условия, при които обикновено се използват уплътненията FFKM, са изключително тежки. При тези тежки условия на работа други каучуци са склонни към корозия, набъбване, разтваряне, стареене и втвърдяване и т.н., което води до повреда на уплътнението и следователно не може да отговори на изискванията за уплътняване. Благодарение на отличната си устойчивост на корозия и устойчивост на висока температура, гумата FFKM може не само да отговори на изискванията за уплътняване при тежки условия на работа, но също така да увеличи експлоатационния живот на уплътненията и да намали разходите за поддръжка на клиентите.
