Производството на полупроводници се определя от два стандарта, които не-подлежат на договаряне: изключителна екологична чистота и нулева-процес-стабилност на отказ. Съвременните процеси за производство на пластини, ецване, отлагане и почистване работят в ултра-чисти вакуумни камери с агресивна химическа атмосфера, където дори замърсяване с частици на микро-ниво или фино разграждане на смазката може да предизвика дефекти на пластини, партиден скрап и намален производствен добив. За инженерите на полупроводникови фабрики и екипите за доставки, които търсят надеждни екстремни-екологични спомагателни материали, разбирането как работи PFPE в производството на полупроводници е от решаващо значение за оптимизиране на стабилността на процеса и маржовете на печалба. Като първокласни полупроводникови флуорохимикали с висока чистота, PFPE смазочните материали с висока-чистота се превърнаха в златен стандарт в индустрията, разрешавайки хронични замърсявания и корозионни болезнени точки, които обикновените въглеводородни смазочни материали не могат да разрешат (Park & Choi, 2022). Този блог разяснява как PFPE оптимизира почистването на пластини с PFPE, прецизното смазване на оборудването и контрола на околната среда в чисти помещения, за да повиши ефективно добива при производството на полупроводници.
1. Защо обикновените смазочни материали се провалят в среди с полупроводникови чисти помещения
Стандартните индустриални греси и лубриканти на-основа на минерално масло никога не са подходящи за ултра{1}}чисто производство на полупроводници. Конвенционалните въглеводородни лубриканти се отличават с нестабилни молекулни структури с реактивни водородни групи, които носят два фатални риска за производството на пластини. Първо, те произвеждат летливи органични съединения (ЛОС) и отделяне на микро-частици при вакуум и условия на процес при висока-температура. Тези малки замърсители лесно се придържат към повърхностите на вафлите, причинявайки дефекти на веригата, късо съединение и ниски нива на добив. Второ, обикновените смазочни материали нямат химическа инертност и ще реагират със силните киселини, алкали и корозивни технологични газове-на базата на флуор, използвани в процедурите за ецване и почистване на пластини. Разграждането на лубриканта генерира киселинна утайка и остатъчни примеси, допълнително замърсявайки околната среда на чистите помещения и увреждайки прецизно движещи се части на вакуумно оборудване, шибъри и роботи за трансфер на пластини.
Тези скрити повреди водят до честа поддръжка на оборудването, честа смяна на смазочни материали и загуби на партидно производство-големи скрити разходи за фабриките за полупроводници. За разлика от това, полупроводниковият флуорохимичен PFPE с висока чистота напълно избягва тези недостатъци, осигурявайки целеви решения за свръх-чисти сценарии за производство на полупроводници с висока-корозия.
2. Как работи PFPE в полупроводниците: Основни механизми за чистота и стабилност
Отличното представяне на PFPE с висока-чистота произтича от неговата напълно флуорирана молекулярна структура, която полага основата за ултра-чисто производство и дългосрочна-стабилна работа. За разлика от въглеводородните смазочни материали, PFPE няма реактивни водородни атоми, като се отличава с ултра-висока химическа инертност, нулево отделяне на частици и изключително ниско налягане на парите. Тези основни свойства обясняват как PFPE работи в среди с екстремни процеси на полупроводници, за да осигури чистота и да подобри добива.
Първо, PFPE постига нулево замърсяване с микро-частици. PFPE с висока-чистота и съответстващите PTFE сгъстители приемат ултра-пречистени формули без примеси от пълнител, като се избягва отделянето на частици по време на триенето и работата на оборудването. В роботите за трансфер на пластини и системите за прецизно линейно движение PFPE образува гладък, издръжлив смазващ филм, който поддържа стабилно триене, без да отделя микро-частици, предпазвайки повърхностите на пластините от физическо замърсяване.
Второ, осигурява ултра{0}}ниска ефективност на отделяне на газове. Данните от тестовете потвърждават, че PFPE отговаря на строгите стандарти за ултра-висок вакуум (UHV) и клас 1 за чисти помещения, с почти нулево изпаряване на ЛОС. Той няма да произвежда кондензирани остатъци върху пластини, оптични лещи и компоненти на прецизна камера, като основно елиминира органичното замърсяване, причинено от отделянето на смазочни газове.
Трето, PFPE е устойчив на екстремна химическа корозия. Той е напълно инертен към силни киселини, силни основи, плазмени газове и различни ецващи реагенти, които обикновено се използват в полупроводникови процеси. Той никога не се разлага и не се поврежда в агресивни химически среди, осигурявайки непрекъснато и стабилно смазване на технологичното оборудване и избягвайки вторично замърсяване от влошаване на качеството на смазката.
3. PFPE почистване на пластини: Оптимизиране на чистотата на процеса за намаляване на дефектите на пластини
Професионалното приложение за почистване на пластини PFPE е ключова връзка за подобряване на добива на полупроводници. Традиционните спомагателни почистващи материали и остатъците от лубриканти са важни източници на повърхностни дефекти на вафлите. PFPE с висока-чистота може да се използва за спомагателна защита и остатъчно почистване в процесите след-ецване и последващо{4}}отлагане на пластини. Неговата уникална флуорохимична съвместимост му позволява бързо да отстранява малки органични остатъци и неорганични микро-частици върху повърхностите на вафлите, без да уврежда веригите на вафлите или материалите на субстрата.
За разлика от обикновените почистващи разтворители, PFPE няма да остави вторични остатъци, нито ще корозира микроструктурите на вафлите и прецизните модели. Той ефективно премахва замърсителите в нано-мащаб, които са трудни за почистване с традиционните процеси, като значително намалява процента на повърхностни дефекти. За усъвършенствано производство на чипове, като 7nm и 14nm процеси, свръх-високите изисквания за чистота са строги, а PFPE с висока-чистота се превърна в незаменим спомагателен материал за осигуряване на плоскост на повърхността на пластината и цялост на веригата, като директно подобрява добива на крайния продукт.
4. Практически добив и оперативни ползи за B2B производителите на полупроводници
За фабрики за полупроводници, производители на оригинално оборудване и инженерни екипи за чисти стаи, приемането на полупроводников флуорохимичен PFPE с висока чистота носи осезаеми търговски ползи отвъд оптимизирането на чистотата. Първо, значително подобрява производствения добив чрез елиминиране на-предизвиканото от лубрикант замърсяване с частици и химическо замърсяване, намаляване на загубите на вафлен скрап и подобряване на нивата на квалификация на партидното производство. Второ, PFPE се отличава със свръх-дълъг експлоатационен живот и стабилна производителност, удължаване на циклите на смазване на оборудването и намаляване на честото спиране на поддръжката, причинено от повреда на смазочния материал, което значително подобрява времето за работа на производствената линия.
В допълнение, PFPE е съвместим с всички масови материали за полупроводниково оборудване, включително прецизни сплави, инженерни пластмаси и еластомерни уплътнения. Той избягва стареенето на уплътненията и корозията на компонентите на оборудването, причинени от несъвместими смазочни материали, като намалява разходите за подмяна на компоненти и дългосрочните-оперативни рискове. Рецензирани -изследвания потвърждават, че смазочните материали от PFPE с висока-чистота могат ефективно да поддържат-трайна ултра-стабилна работа на оборудване за обработка на полупроводници, превръщайки се в основен материал за-производство на чипове с висок добив (Park & Choi, 2022 г.).
Заключение
Конкуренцията в производството на полупроводници по същество разчита на прецизността на процеса и чистотата на околната среда. Обикновените смазочни материали вече не могат да отговорят на изискванията за свръх-висока чистота, анти-корозия и ниско-замърсяване на усъвършенстваното производство на пластини. Като професионален полупроводников флуорохимикал с висока чистота, PFPE с висока-чистота решава болните точки в индустрията от молекулярно ниво. Той перфектно обяснява как работи PFPE в производството на полупроводници: нулево отделяне на частици, ултра-ниско отделяне на газове, изключителна химическа инертност и професионални възможности за почистване на пластини от PFPE. Той пречиства процесната среда на чисти помещения, намалява процента на дефектите на пластините, стабилизира работата на оборудването и в крайна сметка непрекъснато подобрява добивите при производството на полупроводници. За B2B производители на полупроводници, преследващи висока-прецизност, висока-стабилност и висок-добив, PFPE с висока-чистота е необходима надстройка с висока-стойност за спомагателни материали за процеса.
защо да изберете нашия pFPE лубрикант?
Високо{0}}качествени продукти
Нашите PFPE смазочни материали преминават многократни тестове за надеждност в чисти помещения, за да поддържат изключителна стабилност, минимално отделяне на газове и устойчивост на замърсяване за обработка на полупроводникови пластини с висока/ниска температура и висока-вакуум. Отличаващи се с еквивалентна ултра-чиста производителност и постоянно качество на Solvay PFPE, те елиминират рисковете от частици и стабилизират производствения добив.
Персонализирани услуги
Ние предлагаме персонализирани решения за смазване според специфичните нужди на нашите клиенти. Независимо дали става дума за специален температурен диапазон, вакуумна среда или условия на високо натоварване, ние можем да ви предоставим най-подходящите продукти.
Техническа поддръжка
Нашият екип се състои от опитни експерти по смазване, които могат да предоставят професионална техническа поддръжка и консултантски услуги на нашите клиенти. Независимо дали става въпрос за избор на продукт или насоки за употреба, ние можем да ви помогнем.
Препратки (APA 7-мо издание)
Парк, Дж. и Чой, С. (2022). PFPE смазочни материали с висока-чистота за ултра-чисти среди за производство на полупроводници.Вестник за микроелектроника и електронно опаковане, 19(3), 156–162.
